高性能压力传感器攻克“卡脖子”技术仪表产业

当前，中国科技产业正在经历历史性的、整体性的、结构性的变化。重大创新不断涌现，一些前沿领域进入平行引领发展阶段。同时，我们也要看到，中国科技领域还存在一些亟待解决的问题，关键核心技术对他人的限制还没有根本改变。

压力传感器是工业实践中常用的一种传感器。普通压力传感器的输出是模拟信号。模拟信号是指信息参数在一定范围内的连续信号。发挥足够的oh加速形成传感器研发向规模化生产产业化的发展模式，走自主创新与国际合作相结合的跨越式发展道路，使中国成为世界传感器生产大国。重要的是要克服“瓶颈”技术。

近日，中南大学与中国电子科技集团公司第48研究所联合承担了长沙航空重点特种发动机高性能压力传感器研发应用项目，并通过验收，解决了“卡颈”关键技术问题。

该项目成立于2018年，依托中电48所和中南大学，专注于高性能压力传感器的研发，突破外资企业的封锁。经过三年的科技攻关，项目团队已经攻克了敏感电阻精密掺杂、SOI压敏芯片制造、无铅压力传感器封装等关键工艺和技术。

其研制的高性能SOI压力传感器装置，经某型号航空发动机应用验证，性能达到国际先进水平，突破了国外高压传感器的封锁，解决了高温压力传感器“自己”的技术难题，对于研制较高温度压力传感器具有重要的理论和技术基础。

本文由蝶阀编辑整理

中外合资泰科阀门